Poluprovodnička jedinica za odvajanje zraka visoke{0}}će čistoće

Core Technology

Ultra{0}}predtretman:"Tro-filtracija + dvostruka adsorpcija + katalitička deoksigenacija" – ULPA filteri i visoko-molekularna sita odstranjuju vodu (tačka rosišta manja ili jednaka -90 stepeni) i CO₂ (manje ili jednako 0,01ppm), i uklanjaju paladijum jednako do 1 ppm kiseonika do 0 postavljanje temelja za destilaciju.
 

Pročišćavanje kriogenom destilacijom:"Multi-kaskada + visoko-pakovanje" – Glavni toranj koristi valovito pakovanje od 316L za početno odvajanje do 5N čistoće. Toranj za rafinaciju dušika/argona se dodaje kako bi se postigla konačna čistoća dušika od 7N i čistoća argona od 7,5N, uklanjajući nečistoće u tragovima (metan manji ili jednak 0,05ppb).

 

Ultra{0}}čisti post{1}}tretman:Ekskluzivno prečišćavanje radi sprečavanja sekundarne kontaminacije – PTFE filteri filtriraju čestice veće od ili jednake 0,01 μm, kolone za ionsku izmjenu smanjuju ione metala, a kanisteri s aktivnim ugljem kontroliraju VOC na manje ili jednako 0,05 ppb.
 

Stabilna kontrola isporuke:Visoko{0}}precizni sistem zatvorene-sisteme – poluprovodnički-klasa MFC, 316L EP-cijevi (Ra manji od ili jednak 0,2μm), potpuno automatizirano zavarivanje (kvalifikovana stopa 100%), u skladu sa SEMI F30.

 

princip rada

 

 

 

Više-princip prethodnog tretmana kompozita

Trostepena veza "filtracija + adsorpcija + kataliza": ULPA filteri i visoko-molekularna sita na visokim temperaturama uklanjaju vodu (tačka rosišta manja ili jednaka -90 stepeni) i CO₂ (manje ili jednako 0,01 ppm), dok paladijum ili paladijum odstranjuju manje od 1 ppm kiseonika do manje od 0. postavljanje temelja za visoku čistoću.

 

 

Duboka{0}}hladna destilacija i princip frakcionog odvajanja

Koristeći razlike u tački ključanja između kiseonika, azota i argona, više kolona se koristi u nizu za prečišćavanje: glavna kolona, ​​sa pakovanjem od 316L, postiže početno razdvajanje do 5N; kolona za rafiniranje dušika/argona (-196 stupnjeva) uklanja nečistoće u tragovima, na kraju postižući koncentracije dušika od 7N i koncentracije argona od 7,5N (metan manji ili jednak 0,05 ppb).

 

 

Ultra{0}}princip prevencije zagađenja nakon{1}}a nakon tretmana

Zaštićeno prečišćavanje sprečava sekundarnu kontaminaciju: PTFE filteri, kolone za jonsku izmjenu smanjuju ione metala (manje ili jednako 0,01 ppb), a kanisteri s aktivnim ugljem kontroliraju VOC na manje od ili jednako 0,05 ppb, osiguravajući čistoću plina.

 

 

Visoko{0}}Princip upravljanja zatvorenom petljom{1}}preciznosti

"Visoka-kontrola preciznosti + čist cijevi": Cjevovodi poluprovodničkog-klase MFC i 316L EP-(Ra manji od ili jednak 0,2μm) su potpuno automatski zavareni kako bi se osigurao stabilan transport i nesmanjena čistoća.

 

1. Može li se čistoća plina proizvedena ovom opremom prilagoditi zahtjevima različitih poluprovodničkih procesa?

Možemo prilagoditi rješenja čistoće na osnovu specifičnih zahtjeva procesa. Prilagođavanjem procesa tornja za rafiniranje i modula za naknadnu{1}} obradu, možemo postići stabilan izlaz koji zadovoljava zahtjeve 14nm procesa. Gasovi visoke{4}}čistoće za napredne procese, uključujući one ispod, mogu se optimizirati za buduće nadogradnje procesa bez potrebe za potpunom zamjenom opreme.
 

2. Kako možemo spriječiti sekundarnu kontaminaciju plinom tokom rada opreme? Proizvodnja poluprovodnika zahteva izuzetno visoke nivoe čistoće.

Ovo je osigurano na dva načina: Prvo, namjenski sistem ultra-čistog post- tretmana uklanja sitne čestice i metalne jone kroz procese kao što su ultrafiltracija i jonska izmjena. Drugo, proces isporuke koristi specijalizovane materijale za cevi i optimizovane tehnike zavarivanja kako bi se smanjila apsorpcija nečistoća na zidovima cevi, čime se sprečava sekundarna kontaminacija gasom tokom celog procesa.
 

3. Tokom rada opreme, protok gasa i fluktuacije pritiska mogu uticati na obradu poluprovodnika. Kako možemo osigurati stabilne parametre?

Visoko{0}}Precizan zatvoren-sistem kontrole, zajedno sa profesionalnim kontrolerom protoka za podešavanje parametara u stvarnom-vremenu i optimizirani dizajn cjevovoda, efikasno kontroliše fluktuacije protoka i pritiska, osiguravajući stabilne parametre opskrbe plinom koji zadovoljavaju zahtjeve preciznosti poluvodičkih procesa.
 

4. Da li je održavanje opreme kompleksno? Hoće li održavanje utjecati na kontinuirani rad linije za proizvodnju poluvodiča?

Pojednostavljeni proces održavanja omogućava rano upozorenje o održavanju osnovnih komponenti putem nadzora na mreži. Sistem također podržava "offline prefabrication + online vezu." Uz sveobuhvatan model održavanja, kritično održavanje zahtijeva samo kratko vrijeme zastoja, a privremeni plan opskrbe plinom će biti razvijen kako bi se minimizirali poremećaji u proizvodnoj liniji.

5. Ako fabrika poluprovodnika proširi kapacitet u budućnosti, može li se postojeća oprema proširiti? Da li je ovo proširenje teško?

Oprema ima ugrađene-portove za proširenje. Proširenje kapaciteta zahteva samo dodavanje odgovarajućih modula za rafinaciju i transportnih komponenti, bez demontaže sistema destilacije jezgra. Detaljni proračuni procesa i prefabrikacija se izvode prije proširenja, što rezultira kratkim-periodom izgradnje na lokaciji i minimalnom složenošću, omogućavajući brzo prilagođavanje potrebama rasta kapaciteta.

Popularni tagovi: poluprovodnička jedinica za odvajanje zraka visoke-čistoće plina, Kina poluvodička jedinica za odvajanje zraka visoke{1}} čistoće plina, dobavljači, tvornica