
PSA kisik generator za poluvodiču
Opis
Tehnički parametri
Zašto se poluvodička industrija trebaju generatori za kisik PSA?
Opskrba plinom visokog čistoće:Proizvodnja poluvodiča ima stroge zahtjeve na čistoću plina, a visok kisik je neophodan za litografiju, čišćenje i druge veze. Pomoću tehnologije adsorpcije tlaka pritiska, PSA kisik generator proizvodi kiseonik sa čistoćom od 95% ± 3%, što ispunjava zahtjeve za formiranje oksida i čišćenje rezine i izbjegavamo rizik od nečistoće zagađene na plinskom cilindru.
Osigurajte stabilnost procesa:Poluprovodničke proizvodne linije zahtijevaju kontinuirano i stabilno opskrbu plinom. PSA agenerator kisika koristi dvostruke adsorpcijske kule za rad naizmjenično, a putem PLC inteligentne kontrole može postići 24- sat neprekidnog opskrbe kisikom, izbjegavanje prekida proizvodnje uzrokovanih ručnim zamenskim bocama, a prilagođavanje osjetljivim na pritisak zraka kao što su tanki talog filma i otkaz.
Smanjite troškove i optimizirajte prostor:U usporedbi s tečnim kisičnim spremnicima i plinskim cilindrima visokog pritiska, generatori za psigen PSA proizvode kisik na licu mjesta, uvelike smanjujući troškove prevoza i skladištenja. Ima mali otisak i podržava modularno širenje, što zadovoljava potrebe maksimiziranja iskorištavanja prostora u čistim radionicama poluvodičkih tvornica. Dugoročni trošak upotrebe iznosi oko 20% niži od tradicionalne metode.
Prilagođavanje posebnim procesima:U naprednim procesima neki posebni procesi zahtijevaju preciznu kontrolu koncentracije kisika. PSA generator kisika može fleksibilno podesiti čistoću izlaznog kiseonika (95% -99. 9%) prilagođavanjem adsorpcijskog tlaka i omjera molekularnog sita kako bi zadovoljili posebne procesne zahtjeve za proizvodnju 3D nand flash memorijske memorije proizvodnje.
Ekološki i jednostavan za održavanje:PSA tehnologija ne zahtijeva hemijske reagense, a proces proizvodnje kisika ne emituje štetne tvari koje ispunjava standarde zaštite okoliša u industriji poluvodiča. Oprema koristi molekularne mase od nehrđajućeg čelika i samočišćenja, sa ciklusom održavanja do 3-5 godina, a pogodan je za visoko čistoću preraspodjela važnog materijala.

kategorija | Detalji parametara |
Čistoća kisika | 93% {1}} 5% (ULPA sistem filtracije može se prilagoditi, sadržaj nečistoće manje ili jednak 1ppb) |
Izlazni pritisak | 5-1 5-1. 5MPA (podesivo, prilagođeno standardu za unos zraka poluvodičkim opremom) |
Raspon protoka | 10-5000 Nm³ / H (podržava paralelno širenje više jedinica) |
Tačka rose | Manje od ili jednako -70 stepeni (kako bi se spriječilo da vodene pare zagađuju procesno okruženje) |
Energetska efikasnost | Manje od ili jednako 0. 38kwh / nm³ (frekvencijski pogon velike efikasnosti, ušteda energije više od 30%) |
Nivo buke | Manje od ili jednako 65db (niska vibracijska struktura + zvučna izolirana školjka, u skladu sa Class 1000 Clean Standardima) |
Temeljne prednosti generatora kisika PSA
Garancija ultra visoke čistoće
Dvoslojni molekularni sito i katalitička oksidacijska jedinica koriste se za duboko uklanjanje nečistoća poput ugljikovodika i co₂, a čistoća kisika dostiže više od 99,5%, sastanku na standard polufa. Ugrađeni internetski analizator u stvarnom vremenu, sinkronizacija podataka u fabrički SCADA sistem kako bi se osigurala stabilnost procesa.
Inteligentna kontrola i suvišni dizajn
Integrirani PLC + HMI upravljački sistem, podržava daljinsko nadgledanje, samo-dijagnozu grešaka i prebacivanje u hitne slučajeve (suvišna adsorpcija sa dvostrukim kulom). Tehnologija automatskog kompenzacije tlaka za nošenje sa trenutnim potražnjom poluvodiča u poluvodiču.
Rješenje za uštedu energije sa niskim ugljikom
VPSA (Adsorpcija Swith Swith Swith Swing) smanjuje potrošnju energije, štedeći 15% {1}}% energije u usporedbi s tradicionalnim PSA.Optionalnim modulom za oporavak otpada za smanjenje toplinskog opterećenja za otpadne toplote.
Kompatibilnost čiste sobe
Sav kanal za protok od nehrđajućeg čelika + nano premaz za izbjegavanje metalnih ion kontaminacije; ZERO DIZAJN BUTKage brtve, prošao je ISO 8573-1 Class 0 certifikat.
PSA tipovi biljaka kisika

Modularna oprema

Twin Tower oprema

Kontejnerska oprema
NTK95 serija serije PSA kisik selekcija | ||||||
Ne br. | Modeli | Kapacitet (Nm3 / hr) |
Čistoća | Potrošnja energije Proizveden od 1nm3 kisik (kW / h) |
Broj boca isplela u 12 sati (kom) |
Potreban operator |
1 | NTK 95-5 P | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
2 | NTK 95-10 P | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
3 | NTK 95-15 P | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
4 | NTK 95-20 P | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
5 | NTK 95-25 P | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
6 | NTK 95-30 P | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
7 | NTK 95-40 P | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
8 | NTK 95-50 P | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
9 | NTK 95-60 P | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
10 | NTK 95-80 P | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
11 | NTK 95-100 P | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
FAQ
1. Koliko visoka može biti čistoća kisika i ispunjava li zahtjeve proizvodnje poluvodiča?
Naš PSA generator za poluvodiče za poluvodiče može rutinski proizvesti kisik čistoći od 95% ± 3%. Za neke procese koji zahtijevaju izuzetno visoku čistoću kisika, podešavanjem opreme, čistoća izlaznog kiseonika može se fleksibilno kontrolirati u rasponu od 95% - 99. 9%, u potpunosti ispunjavajući strogosti za čistoću plina, poput poluvodičke litografije, čišćenja i oksidacije.
2. Koliko je stabilna oprema, a može osigurati kontinuirani rad linije za proizvodnju poluvodiča?
Oprema prihvaća dvostruki adsorpcijski toranj naizmeničnom režimu rada, u kombinaciji sa PLC inteligentnim sistemom upravljanja, za postizanje 24- sat neprekidnog i stabilnog opskrbe kisikom. Ovaj automatizirani način rada izbjegava prekide za opskrbu plina uzrokovanim ručnim zamjenom za boce, pruža pouzdanu i stabilnu opskrbu plina za procese poput tankog filma i etching-a koji su osjetljivi na zračni pritisak, a učinkovito smanjuje rizik od prekida proizvodnje uzrokovanih problemima opskrbe plinom.
3. U usporedbi s tradicionalnim metodama opskrbe kisikom, koji su troškovi upotrebe?
U usporedbi s tečnim kisikom ili visokotlačnim plinskim cilindrima, našim PSA-e za kisik generator usvaja na licu mjesta za proizvodnju kisika, što u velikoj mjeri štedi troškove i troškove skladištenja u kisiku. Oprema zauzima malo područje i može se proširiti modularno, smanjujući troškove najma stranice. Dugoročno, trošak je oko 20% niži od tradicionalnog načina opskrbe kisikom, što značajno štedi operativne troškove.
4. Da li je održavanje opreme komplicirano? Koliko dugo traje ciklus održavanja?
Oprema je jednostavna za održavanje, koristeći nehrđajuću čelik od nehrđajućeg i samočišćenja molekularnih sita, što uvelike smanjuje radno opterećenje održavanja. U normalnim okolnostima ciklus održavanja je dugačak 3-5 godina, a mi smo opremljeni profesionalnim timom nakon prodaje kako bismo pružili tehničku podršku u bilo kojem trenutku kako bismo vam pomogli u rješavanju problema tokom rada opreme.
Zakon sada da osigurate svoj lanac snabdevanja kisikom
✅ Prilagođena rješenja:
Recite nam svoj kapacitet kreveta i vršnu potražnju za prilagođen prijedlog.
✅ Brza dostava:
Predbilježbeni moduli isporučeni u 8-12 sedmice.
Opcije finansiranja:
Na raspolaganju su planovi za najam na vlastiti.
Telefonski broj
+86 15888864725
WhatsApp broj
+86 15888864725
sales@newtek-group.com
Popularni tagovi: PSA kisik generator za poluvodiču, Kineski PSA generator kisika za poluvodič, dobavljače, fabriku
Par
neSljedeći
Medicinski kiseonik generatorPošaljite upit
Javite se
Napišite svoju poruku